Rapidusが2nm半導体製造のパイロットラインを4月に開始

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Rapidusは4月に2nm世代半導体製造のパイロットラインを立ち上げ、量産技術の確立を目指します。NEDOの支援を受け、試作開発やプロトタイピング環境の整備を進めています。

要約するとRapidusは、2023年4月1日に2nm世代半導体製造のパイロットラインを立ち上げることを発表しました。

この取り組みは、産業技術総合開発機構(NEDO)からの支援を受けており、日米連携に基づく2nm世代半導体の集積化技術や短いターンアラウンドタイム(TAT)での製造技術の研究開発が進められています。

具体的には、2025年度の計画と予算が承認され、これに基づいて前工程分野では製造装置の設置が完了し、300mmウェハへの2nm GAA(ゲートオールアラウンド)トランジスタの試作開発が開始されます。

さらに、先行顧客向けにプロトタイピング環境を整備するため、プロセスデザインキット(PDK)の提供も行われる予定です。

後工程分野では、セイコーエプソンの千歳事業所内に新たに設置された研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions」(RCS)で製造装置の導入が進められ、量産化技術確立に向けたパイロットラインの構築が行われます。

また、RDL(Redistribution Layer)インターポーザや3Dパッケージ技術の開発も進行中です。

Rapidusは、これまでに製造拠点「Innovative Integration for Manufacturing」(IIM)の建設やEUV露光装置の設置、IBMへのエンジニア派遣を通じて2nm世代ロジック半導体の量産技術開発を進めてきました。

今回のパイロットラインの立ち上げを契機に、2027年の量産開始を目指してさらなる進展を図っていく考えです。

参考リンクhttps://news.yahoo.co.jp/articles/e328e46504f7aa9855ee57088e37db3cd730c59a

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