朝日工業社が新たに開発した高性能温湿調機は、半導体製造工程での温度と湿度を精密に制御し、ラピダスの工場に納入される予定です。今後3年間で10-20台の販売を目指しています。
要約すると朝日工業社は、半導体製造工程向けに温度と湿度を精密に制御できる新しい上位モデル「高性能温湿調機」を発表しました。
この機器は、精密空調機「ASCシリーズ」の一部として追加され、温度制御の精度が従来のプラスマイナス0.5度Cから同0.05度Cに向上しました。
また、湿度制御も強化され、同0.5％RH（相対湿度）の精度で調整可能です。
特に、ラピダスからの受注に基づき、北海道千歳市に建設中の半導体工場に納入される予定です。
これらの温湿調機は受注生産品であり、寸法や価格は顧客のニーズに応じて個別に対応します。
朝日工業社は、半導体やフラットパネルディスプレー（FPD）の工場、さらには精密制御が求められる産業施設や研究施設への提案を進めており、今後3年間で10から20台の販売を目指しています。
ラピダスは、この高性能温湿調機を半導体製造工程用の環境装置として採用し、露光装置周辺の密閉空間に温湿度を制御したエアーを供給します。
この新しい機器により、従来に比べてよりきめ細かな温湿度制御が実現され、露光工程の空気清浄度が向上し、安定した製造プロセスが確保されることが期待されています。
参考リンクhttps://news.yahoo.co.jp/articles/b80b3ea5ff230fc62f87c55ebc31ac508d0539da